晶圓非接觸法電阻率測量儀主要透過四探針法測試單晶矽電阻率•│☁，具有自動定位的三座標自動測量系統•│☁，可以自由設定測量點數量•│☁，自動測試完成•│☁，可以對測試出的資料進行2D成像•│☁，是智慧化·•✘╃☁、整合化很高的晶圓電阻率測試儀器╃·✘·•。

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